精密空調機とは、製造ラインや検査室、クリーンルームなどの限られた空間や装置に向けて、温度(機種によっては湿度も)を一般の空調より狭い幅で保つ産業用の空調機です。掲載5社のうち本体価格を公表している会社はなく、5社とも個別見積です(2026年9月24日確認)。
比べる前に決めるのは3点です。必要な精度が±0.1℃級か、それより厳しい±0.05℃以下か。装置やブースだけを空調するか、部屋全体か。冷却を空冷にするか水冷にするか。5社はこの3点で得意な範囲が分かれます。
このページはメーカーの選び分けに絞りました。温湿度の基準そのものはクリーンルームの温湿度管理、部屋全体の空調方式はクリーンルームの空調の仕組み、部屋として計画する場合は恒温恒湿室とはで扱っています。
目次
精密空調機を製品として公開している5社
この製品・サービスの取り扱いを公式サイトで確認できた精密空調機メーカー5社です。掲載順は順位ではありません(設立の古い順)。用途ごとの記載根拠はこの下の表にまとめています。選定の考え方は掲載・選定基準をご覧ください。
| 会社名 | 本社・拠点 | 主な製品・型式 | 事業内容 | 価格の公表 |
|---|---|---|---|---|
| 株式会社朝日工業社 | 東京都港区/機器事業部は千葉県船橋市 | 精密空調機ASCシリーズ/上位モデル「高性能温湿調機」 | 空調設備工事と、機器事業部による精密環境制御機器の開発・設計・製造 | — |
| オリオン機械株式会社 | 長野県須坂市 | PAP(温度制御・温湿度制御・mini・ノンフロン)/除湿型PAP-D/低温型PAP-L/設備用PAP-R | 精密空調機・チラー・真空ポンプ・酪農機器などの製造 | — |
| 株式会社ラスコ | 埼玉県加須市 | AIR SUPPLY unit/CHAMBER unit/ENVIRONMENTAL CHAMBER(半導体・FPD向け) | 1980年に設備工事業から製造メーカーへ移行し、空調製品・液調製品を製造 | — |
| 伸和コントロールズ株式会社 | 神奈川県川崎市麻生区/九州事業所・長野事業所・熊本工場ほか(海外は台湾・韓国・米国などにグループ会社) | 精密空調シリーズ タイプA〜D(水冷式冷凍機) | 精密温調装置・超高純度空気供給システム・ドライエア供給装置・バルブ類の開発、設計、製造、販売およびサービス | — |
| 株式会社アピステ | 大阪府大阪市北区/国内5営業所 | ノンフロン精密空調機PAU-GR/精密空調機PAU(AZ・A・AR等)/クリーン・ファンフィルターユニット | 環境改善機器・冷却機器・温調機器の開発、販売(代理店を介さない直販体制) | — |
株式会社朝日工業社
空調設備工事を主力とする会社で、機器事業部が半導体・FPD・電子分野向けの環境装置を自社で開発・設計・製造しています。精密空調機はASCシリーズを製品ページとカタログで公開し、2024年12月には温湿度制御を高めた上位モデルの発売を公表しています。
この会社の特徴
- ASCシリーズの仕様をカタログで公開——カタログで吹出し温度精度±0.5℃(吐出口1点・1系統での精度)、設定風量4〜20m³/min、設定温度範囲20.0〜25.0℃、水冷(冷却水18.0〜25.0℃・23.0L/min以下)、電源3φ200V・30A、寸法W650×D650×H1,750mmと記載しています(2026年9月24日確認)。
- 上位モデルは温度±0.05℃・湿度±0.5%RH——2024年12月12日のお知らせで、上位モデル「高性能温湿調機」について「温度制御±0.05℃、湿度制御±0.5%RHの制御が可能となりました」とし、半導体製造工程用環境装置として受注、2024年に納品を開始したと公表しています。
- 吐出口にHEPA/ULPAのフィルタBOXを付けられる——オプションとして、吐出口へのフィルタBOXの設置(清浄度によりHEPA/ULPAを選択)、複数個所へ供給できる分岐可能な吐出口(個数や風量は要相談)、局所空調用の断熱ダクトを挙げています。
製品と会社の概要
| 所在地 | 東京都港区浜松町一丁目25番7号 |
|---|---|
| 主な製品・型式 | 精密空調機ASCシリーズ/上位モデル「高性能温湿調機」 |
| 事業内容 | 空調設備工事と、機器事業部による精密環境制御機器の開発・設計・製造 |
| 公表仕様・実績 | 機器事業部で11,400ユニット以上の製品出荷実績を公表。上位モデルは半導体製造工程用環境装置として2024年に納品開始 |
| 価格の公表 | 公式サイトで料金の記載を確認できず |
こんな人に向いています:クリーンルームの空調工事とあわせて、装置まわりの精密空調をまとめて相談したい半導体・電子部品の工場
精密空調機で確認したいこと:価格は公表されていません。ASCシリーズは水冷式のため、冷却水(18.0〜25.0℃)の供給設備が要ります。上位モデル「高性能温湿調機」は、製品カタログ一覧のカタログPDFで外形寸法W750×D1400×H1990mm、風量45m³/min(45〜55m³/min)、設定温度22℃・設定湿度45%RHでの制御精度、清浄度ISO14644-1 class7相当(HEPAフィルター搭載)を公表しています。型式名・冷却方式・電源は記載がないため、個別に確認してください(2026年9月24日確認)。
オリオン機械株式会社
冷熱と真空の技術をもとに産業機器と酪農機器を製造する会社です。精密空調機は装置まわり向けのPAPシリーズと、恒温室・クリーンルーム向けの設備用PAP-Rシリーズを、型式ごとの仕様表で公開しています。
この会社の特徴
- PAPは温度制御精度±0.1℃を型式ごとに公表——温度制御タイプ(空冷式・水冷式)とPAP miniで温度制御精度±0.1℃・設定温度範囲18〜30℃、温湿度制御タイプで湿度制御精度±1%と記載しています。精度は「吸込空気温湿度安定時。吐出口 1 点、コントローラ表示値精度。絶対温度を保証するものではありません。」と注記しています(2026年9月24日確認)。
- 恒温室・クリーンルーム用のPAP-Rを別系統で用意——設備用精密空調機PAP-Rを「恒温室・クリーンルーム用」とし、処理風量20〜140m³/min(3〜15馬力)、温度制御精度±0.2℃と公表しています。恒温恒湿室・クリーンルームのページでは湿度制御精度±2.0%、制御盤内蔵で現地計装工事が不要と説明しています。
- HEPAフィルタ付きのFタイプと特注品——温度制御タイプにHEPAフィルタ付きのFタイプ(PAP05A1-Fは内蔵、PAP20A-Fはフィルタボックス付)を用意し、「上記以外の仕様も製作いたしますので別途ご用命ください。」として特注対応品の一覧も公開しています。
製品と会社の概要
| 所在地 | 長野県須坂市大字幸高246 |
|---|---|
| 主な製品・型式 | PAP(温度制御・温湿度制御・mini・ノンフロン)/除湿型PAP-D/低温型PAP-L/設備用PAP-R |
| 事業内容 | 精密空調機・チラー・真空ポンプ・酪農機器などの製造 |
| 公表仕様・実績 | PAPは処理風量0.6〜40m³/min、PAP-Rは20〜140m³/minの型式を仕様表で公開 |
| 価格の公表 | 公式サイトで料金の記載を確認できず |
こんな人に向いています:装置単位の局所空調から恒温室・クリーンルーム全体まで、同じシリーズの中で風量を選びたい工場・研究所
精密空調機で確認したいこと:価格は公表されていません。接続ダクトは「必ず断熱ダクトを使用し、極力短くしてください。(推奨 5m 以内)」と注記されているため、設置位置と作業点の距離を先に確認してください。HEPAフィルタボックスは本体と分離して出荷され、現地での取付が必要です(2026年9月24日確認)。
株式会社ラスコ
半導体・FPDの製造プロセス向けに、空調製品と液調製品(チラー)を製造する会社です。精密空調は「超精密空調技術」と「AIR スペック」のページで、ユニットごとの風量・設定温度・温度精度を公開しています。
この会社の特徴
- ±0.01℃・±0.005℃の仕様を公開——ENVIRONMENTAL CHAMBER Aで風量50m³/min・設定温度19〜23℃・温度精度 設定温度±0.01℃・湿度精度 設定湿度±1.0%(RH)、Bで風量10m³/min・設定温度22.5〜23.5℃・温度精度 設定温度±0.005℃と記載しています(2026年9月24日確認)。
- 風量9〜175m³/minのユニット仕様を掲載——AIR スペックのページで、AIR SUPPLY unit(風量9m³/min・±0.2℃)からCHAMBER unit4(風量175m³/min・設定温度22〜24℃・±0.02℃)までのユニット仕様を公開しています。
- ULPAフィルタでクリーン度クラス1——空気清浄技術のページで「ULPAフィルタを使用することでクリーン度クラス1を実現」と記載し、HEPA・ULPA・ケミカルフィルタの使い分けを説明しています。
製品と会社の概要
| 所在地 | 埼玉県加須市北平野807番地2 |
|---|---|
| 主な製品・型式 | AIR SUPPLY unit/CHAMBER unit/ENVIRONMENTAL CHAMBER(半導体・FPD向け) |
| 事業内容 | 1980年に設備工事業から製造メーカーへ移行し、空調製品・液調製品を製造 |
| 公表仕様・実績 | ENVIRONMENTAL CHAMBER Bで設定温度±0.005℃、CHAMBER unit4で風量175m³/min・±0.02℃の仕様を公開 |
| 価格の公表 | 公式サイトで料金の記載を確認できず |
こんな人に向いています:半導体・FPDの製造装置や露光・計測工程で、±0.01℃級の温度安定を装置単位で求める企業
精密空調機で確認したいこと:価格は公表されていません。公開仕様は温度精度の測定条件(測定点・周囲条件)が記載されておらず、冷却方式や電源も公式サイトで確認できません。「クリーン度クラス1」がどの規格の区分かも記載がないため、仕様書で確認してください。超精密空調技術のページには「高精度±0.002℃の温度安定を提供しております」との記載もありますが、ユニットごとの仕様として公表されている温度精度は±1.0℃〜±0.005℃です(2026年9月24日確認)。
伸和コントロールズ株式会社
半導体製造装置用チラーや電磁弁を製造する会社で、精密空調は装置向けのシリーズとして公開しています。「お客様のニ-ズに合わせたカスタム製品を承っております」とし、装置内の気流解析にも対応するとしています。
この会社の特徴
- 温度±0.1℃・湿度±0.3%RHを公表——温調範囲20〜27℃・温調制御精度±0.1℃、湿調範囲40〜50%RH・湿度制御精度±0.3%RH、供給風量能力1.0〜65m³/minと記載しています(2026年9月24日確認)。
- ユースポイント制御でクラス100まで——「ユ-スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現しています」「クラス100までのクリ-ン度に対応しています」と記載しています。
- タイプA〜Dの寸法と海外規格——タイプA(1.0〜3.6m³/min・440×950×800mm)からタイプD(13.0〜65.0m³/min・990×990×2000mm)まで、いずれも水冷式冷凍機として公開し、SEMI・CE・RoHS等の規格対応が可能としています。
製品と会社の概要
| 所在地 | 神奈川県川崎市麻生区栗木二丁目6番20号 |
|---|---|
| 主な製品・型式 | 精密空調シリーズ タイプA〜D(水冷式冷凍機) |
| 事業内容 | 精密温調装置・超高純度空気供給システム・ドライエア供給装置・バルブ類の開発、設計、製造、販売およびサービス |
| 公表仕様・実績 | タイプA〜Dの供給風量と外形寸法を「製品の開発実績」として公開 |
| 価格の公表 | 公式サイトで料金の記載を確認できず |
こんな人に向いています:半導体製造装置の内部や装置まわりで、湿度まで狭い幅で制御したい装置メーカー・工場
精密空調機で確認したいこと:価格は公表されていません。公開されているタイプA〜Dは「製品の開発実績」で、「お客様のニ-ズに合わせたカスタム製品を承っております」とされています。全タイプ水冷式のため冷却水設備の有無を確認してください(2026年9月24日確認)。
株式会社アピステ
制御盤用クーラーやチラーを開発・販売する会社で、精密空調機は「全体空調から局所空調へ」を掲げるPAUシリーズとして公開しています。型式ごとの仕様ページに制御精度と測定条件まで記載しています。
この会社の特徴
- 型式ごとに精度と測定条件を公開——PAU-GR1800SE-HCで温度制御精度±0.1℃・湿度制御精度±1.0%RH、PAU-AZW8000SE-HCで±0.1℃・±0.5%RHと記載し、精度は「JTMK01恒温恒湿槽-性能試験方法及び性能表示方法(日本試験機工業会)に定められた方法を基に」した本体吹出し口1点の保証で、「ダクトなどによる熱干渉は精度保証外」と注記しています(2026年9月24日確認)。
- FFUと組み合わせてクリーン度も管理——「精密空調機との組み合わせることでクリーン度とともに温度・湿度のコントロールも可能」として、HEPA(0.3µm粒子にて99.97%以上)とULPA(0.1µm粒子にて99.999%以上)のクリーン・ファンフィルターユニットを型式一覧に掲載しています。
- 空冷・水冷を選べて無料テスト機もある——水冷式は「ファンモーターによる排熱がないため発塵の心配がありません」と説明し、空冷式は冷却水配管が不要としています。製品ページに「無料テスト機お申し込み」の窓口があります。
製品と会社の概要
| 所在地 | 大阪府大阪市北区堂島浜1-4-16 |
|---|---|
| 主な製品・型式 | ノンフロン精密空調機PAU-GR/精密空調機PAU(AZ・A・AR等)/クリーン・ファンフィルターユニット |
| 事業内容 | 環境改善機器・冷却機器・温調機器の開発、販売(代理店を介さない直販体制) |
| 公表仕様・実績 | 型式一覧で冷却能力・加熱能力・風量を、型式ごとの仕様ページで制御精度と条件を公開 |
| 価格の公表 | 公式サイトで料金の記載を確認できず |
こんな人に向いています:部屋全体ではなく、装置・検査工程・クリーンブースだけを短期間で恒温恒湿にしたい工場
精密空調機で確認したいこと:価格は公表されておらず、各型式ページの「価格お問い合わせ」から見積を依頼する形です。PAU-300Sは温度制御精度±1.0℃で、型式により精度が違います。加湿器搭載モデルは加湿用配管が必要です(2026年9月24日確認)。
精密空調機のページのPR枠(1社限定)は現在募集中です。掲載をご検討の企業様は広告掲載についてをご覧ください。
精密空調機の公表仕様と制御精度
当サイトが確認したページに、この製品・サービスに関する記載があった会社だけを挙げています。表現は各社の公式サイトの記載に沿っています。
| 会社名 | 公式サイトで確認できた記載(2026年9月24日確認) |
|---|---|
| 株式会社朝日工業社 | カタログでASCシリーズを吹出し温度精度±0.5℃(「吐出口1点(1系統)での精度です」)、設定風量4〜20m³/min、水冷(冷却水18.0〜25.0℃・23.0L/min以下)、R-407C、3φ200V・30Aと公表。2024年12月12日のお知らせで上位モデル「高性能温湿調機」を「温度制御±0.05℃、湿度制御±0.5%RHの制御が可能」とし、2024年に納品開始と公表。 |
| オリオン機械株式会社 | PAP温度制御タイプ(空冷式・水冷式)で温度制御精度±0.1℃・設定温度範囲18〜30℃、温湿度制御タイプで湿度制御精度±1%、PAP miniで処理風量0.7〜4.0m³/min、水冷式で3〜40m³/minと公表。精度は「吸込空気温湿度安定時。吐出口 1 点、コントローラ表示値精度。絶対温度を保証するものではありません。」と注記。PAP-Rは恒温室・クリーンルーム用で処理風量20〜140m³/min・温度制御精度±0.2℃。 |
| 株式会社ラスコ | ENVIRONMENTAL CHAMBER Aを風量50m³/min・温度精度 設定温度±0.01℃・湿度精度 設定湿度±1.0%(RH)、Bを風量10m³/min・設定温度22.5〜23.5℃・温度精度 設定温度±0.005℃と公表。AIR スペックでAIR SUPPLY unit(9m³/min・±0.2℃)〜CHAMBER unit4(175m³/min・±0.02℃)を掲載。空気清浄技術で「ULPAフィルタを使用することでクリーン度クラス1を実現」と記載。 |
| 伸和コントロールズ株式会社 | 精密空調シリーズを供給風量能力1.0〜65m³/min、温調範囲20〜27℃・温調制御精度±0.1℃、湿調範囲40〜50%RH・湿度制御精度±0.3%RHと公表。「ユ-スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現」「クラス100までのクリ-ン度に対応」と記載。タイプA〜Dはいずれも水冷式冷凍機。 |
| 株式会社アピステ | PAU-GR1800SE-HCを温度制御精度±0.1℃・湿度制御精度±1.0%RH、PAU-AZW8000SE-HCを±0.1℃・±0.5%RH、PAU-300Sを±1.0℃と型式ごとに公表。精度はJTMK01(日本試験機工業会)の方法を基にした本体吹出し口1点の保証で、「ダクトなどによる熱干渉は精度保証外」と注記。型式一覧で風量0.8〜30m³/minの機種を掲載。 |
上表は2026年9月24日に各社の公式サイト(製品ページ・仕様表・カタログPDF・会社概要)を1社ずつ確認した時点の記載です。比較表の「—」「記載なし」は公式サイトで確認できなかったという意味で、掲載していない会社が対応していないという意味ではありません。価格を公表している会社は掲載5社のうち0社で、すべて個別見積です。
精密空調機のメーカーを比べる5つの軸
精密空調機は、どのメーカーの製品も「温度を一般空調より狭い幅で保つ空調機」という点は同じです。差が出るのは、温度の精度・湿度の制御・風量の範囲・冷却方式・価格の公表の5点で、この5つを並べると各社の得意な範囲が見えてきます。
| 会社 | 公開している温度精度 | 湿度の制御 | 風量の範囲 | 冷却方式 | 価格の公表 |
|---|---|---|---|---|---|
| 朝日工業社 | ASCは±0.5℃/上位モデルは±0.05℃ | ASCは記載なし/上位モデルは±0.5%RH | ASCは4〜20m³/min/上位モデルは45〜55m³/min | 水冷 | なし |
| オリオン機械 | PAPは±0.1℃/PAP-Rは±0.2℃ | 温湿度制御タイプは±1%/PAP-Rは±2.0% | PAPは0.6〜40m³/min/PAP-Rは20〜140m³/min | 空冷・水冷(PAP-Rはリモートコンデンサ型) | なし |
| ラスコ | ユニットにより±1.0℃〜±0.005℃ | ENVIRONMENTAL CHAMBER Aで±1.0%(RH) | 公開仕様で9〜175m³/min | 記載なし | なし |
| 伸和コントロールズ | ±0.1℃(温調範囲20〜27℃) | ±0.3%RH(40〜50%RH) | 1.0〜65m³/min | 水冷式冷凍機 | なし |
| アピステ | 主な型式で±0.1℃(PAU-A920S-HC・PAU-A1400S-HCは±0.2℃、PAU-300Sは±1.0℃) | 温度・湿度制御タイプで±1.0%RH/±0.5%RH | 型式一覧で0.8〜30m³/min | 空冷・水冷 | なし |
5社を大きく分けると、型式と仕様表から選ぶ標準品型(オリオン機械・アピステ・朝日工業社のASC)と、装置向けの仕様を開発実績やユニット仕様として示す型(伸和コントロールズ・ラスコ)になります。±0.1℃級で足りるなら標準品の型式から風量で選べます。±0.05℃より厳しい精度や装置の内部への組み込みが要るなら、後者のメーカーへ仕様書を渡して相談する流れになります。伸和コントロールズは「お客様のニ-ズに合わせたカスタム製品を承っております」と記載しています。
掲載順は設立の古い順で、評価の順位ではありません。順序の基準と掲載の考え方は掲載・選定基準に記載しています。クリーンルーム本体の設計施工会社はクリーンルームの施工会社比較で扱っています。
精密空調機の制御精度は条件とセットで読む
カタログの「±0.1℃」は、部屋全体や作業点の精度ではなく、決められた条件で吹出口の1点を測った値です。条件を公表している3社は、いずれも吹出口1点での精度と明記しています。
精度の数字だけで比べると、設置後に「作業点では合わない」というずれが起きます。
| 会社 | 精度の条件として公表している内容 |
|---|---|
| 朝日工業社 | 「吐出口1点(1系統)での精度です」(ASCシリーズのカタログ) |
| オリオン機械 | 「吸込空気温湿度安定時。吐出口 1 点、コントローラ表示値精度。絶対温度を保証するものではありません。」 |
| ラスコ | 公開仕様に測定条件の記載なし |
| 伸和コントロールズ | 「ユ-スポイント制御方式にて高精度な制御精度を実現」(使う場所の近くで制御する方式) |
| アピステ | JTMK01(日本試験機工業会)の方法を基にした、空調機搭載温調器の指示値での本体吹出し口1点の精度保証。「ダクトなどによる熱干渉は精度保証外」 |
吹出口から作業点までのあいだでは、ダクトを通る空気が周囲と熱をやり取りし、室内の装置や人の発熱も加わります。オリオン機械は接続ダクトを断熱ダクトにして「極力短くしてください。(推奨 5m 以内)」と注記し、アピステはダクトによる熱干渉を精度保証の対象外としています。設置位置は、作業点との距離まで含めて決めてください。
| 機種 | 公表している周囲の条件 |
|---|---|
| オリオン機械 PAP05A1 | 周囲温湿度15〜35℃・30〜70%、吸込温度変化勾配±1℃/h以内 |
| オリオン機械 PAP10C | 周囲温湿度15〜40℃・30〜70%、吸込温度変化勾配±5℃/h以内(±0.1℃を維持できる勾配を1℃から5℃に拡張と説明) |
| アピステ PAU-GR1800SE-HC | 使用周囲温度20〜35℃(温度変化勾配1℃以内/1h)、使用周囲湿度15〜85%RH |
| 朝日工業社 ASC | 装置設置周囲環境20.0〜25.0℃・40.0〜60.0%RH |
| 朝日工業社 高性能温湿調機 | 設置環境21〜23℃・42〜48%RH(設定22℃・45%RHの時)、変動速度は温度1℃/60分以内・湿度3%RH/60分以内 |
同じ±0.1℃でも、周囲の温度が1時間に何℃まで動いてよいかは機種で違います。空調の効いていない工場の一角に置くのか、空調された部屋の中に置くのかで、選べる機種が変わります。製品に必要な許容幅の決め方はクリーンルームの温湿度管理にまとめています。
精密空調機の価格はどこまで公表されているか
掲載5社のうち、精密空調機の本体価格を公表している会社は0社です(2026年9月24日確認)。標準品の型式を公開しているアピステとオリオン機械も価格は掲載しておらず、5社とも問い合わせ・見積依頼で金額を出す形です。
| 会社 | 公式サイトでの価格の扱い | 見積の前に使える情報 |
|---|---|---|
| 朝日工業社 | 価格の記載なし。お問い合わせフォームと東京営業室の連絡先を掲載 | ASCシリーズと上位モデル「高性能温湿調機」のカタログPDF(仕様・外観図、ASCはオプションも) |
| オリオン機械 | 価格の記載なし。製品ページに見積依頼・お問い合わせの窓口 | 型式ごとの仕様表・外形図・特注対応品の一覧 |
| ラスコ | 価格の記載なし。お問い合わせフォーム | ユニットごとの風量・設定温度・温度精度 |
| 伸和コントロールズ | 価格の記載なし。カスタム製品の相談を受け付ける案内 | タイプA〜Dの風量・外形寸法、装置内気流解析の相談 |
| アピステ | 各型式ページに「価格お問い合わせ」。よくある質問でも金額・納期は問い合わせで回答 | 型式一覧・仕様書・取扱説明書、無料テスト機の申し込み窓口 |
本体価格だけで予算を組むと、設置側の工事が抜けます。精密空調機は冷却水・電源・給排水・ダクトとつながる機器で、各社の仕様書には設置側で用意するものが書かれています。見積もりを取るときは、次の費目が誰の範囲かを分けて書いてもらってください。
| 見落としやすい費目 | 仕様書に書かれている例 |
|---|---|
| 電源工事 | オリオン機械 PAP温度制御タイプ(空冷式)は三相200V±10%(PAP miniやノンフロンの小型機には単相100Vの型式もあります)、朝日工業社 ASCは3φ200V・30A、アピステ PAU-GR1800SE-HCは単相AC200〜240V |
| 冷却水の配管 | 水冷式で必要。朝日工業社 ASCは水温18.0〜25.0℃・23.0L/min以下、伸和コントロールズは全タイプ水冷式冷凍機 |
| 加湿の給水とドレン | アピステは「加湿器搭載モデルは、加湿用配管が必要です」と記載。朝日工業社 ASCはドレン配管Rc1 |
| 断熱ダクト | オリオン機械は断熱ダクトで推奨5m以内(PAP miniは推奨3m以内)。朝日工業社は局所空調用の断熱ダクトをオプションで用意 |
| フィルタボックス | オリオン機械のHEPAフィルタボックスは本体と分離して出荷し現地で取付。朝日工業社はHEPA/ULPAのフィルタBOXをオプションで設置可能 |
導入前に効果を確かめたい場合、アピステは製品ページに無料テスト機の申し込み窓口を設けています。既存の設備で精度が出るかを試してから型式を決める進め方もできます。
精密空調機をクリーンルームと組み合わせる
精密空調機は温度と湿度を整える機器で、清浄度はフィルタを組み合わせて確保します。組み合わせ方は、精密空調機にFFUやフィルタボックスを付けて装置・ブース単位で空調する方法と、恒温室・クリーンルームの部屋全体を空調する方法に分かれます。
| 組み合わせ方 | 公表している会社・機種 | 向いている場面 |
|---|---|---|
| 精密空調機+FFU | アピステ PAU+クリーン・ファンフィルターユニット(HEPA:0.3µm粒子にて99.97%以上/ULPA:0.1µm粒子にて99.999%以上) | クリーンブースや装置カバーの中だけを恒温恒湿・清浄にしたい |
| フィルタ内蔵・フィルタボックス | オリオン機械 PAPのFタイプ(HEPAフィルタ内蔵またはHEPAフィルタボックス付)/朝日工業社 ASCのフィルタBOX(HEPA/ULPAを選択) | 吹き出す空気そのものを清浄にして装置へ送りたい |
| 部屋全体の空調 | オリオン機械 PAP-R(恒温室・クリーンルーム用、処理風量20〜140m³/min) | 精密測定室や恒温恒湿室を部屋として作りたい |
| 装置への組み込み | 伸和コントロールズ(クラス100まで対応・装置内気流解析)/ラスコ(ULPAでクリーン度クラス1・半導体・FPD向け) | 製造装置の内部を装置単位で温湿度管理したい(公表精度は伸和コントロールズが温度±0.1℃・湿度±0.3%RH、ラスコのENVIRONMENTAL CHAMBERが±0.01℃・±0.005℃) |
| 複数箇所への分岐 | 朝日工業社 ASCの分岐可能な吐出口(個数や風量は要相談) | 1台で複数の装置やブースへ供給したい |
クリーンルームの中に置く場合は、空調機の排熱と発塵も選定の条件になります。アピステは空冷式と水冷式の違いを次のように説明しています。
| 冷却方式 | 公表されている特徴 | 対応している会社 |
|---|---|---|
| 空冷式 | 熱交換用の冷却水配管が不要で、設置を比較的容易に行える。放熱コイルに併設したファンモーターが排熱する(アピステ) | オリオン機械・アピステ |
| 水冷式 | 熱交換率が高く安定性が高い。ファンモーターによる排熱がないため発塵の心配がなく、より高いクリーン度を求める環境に向く(アピステ) | 朝日工業社・オリオン機械・伸和コントロールズ・アピステ |
FFUの風量や選び方はFFUとは、ブースで囲う方法はクリーンブースとはで扱っています。半導体工場で温湿度以外に管理する条件は半導体のクリーンルームにまとめています。
精密空調機の発注前に決める項目
メーカーへ問い合わせる前に決めておくと、同じ条件で複数社の見積もりを並べられます。ここが曖昧なままだと、各社が違う前提で型式を選ぶため、金額も精度も比べられません。次の6項目を先に埋めてください。
冷媒の扱いも発注前に確認してください。環境省のフロン排出抑制法ポータルサイトは、業務用の冷凍空調機器(第一種特定製品)について、全ての管理者が日常的な温度点検や外観検査等(簡易点検)を行い、一定規模以上の機器は専門家による冷媒漏えい検査(定期点検)を行う必要があると案内しています(2026年9月24日確認)。冷媒にフロン類を使う機種かどうかと、点検を誰が担うかを見積もりの段階で聞いておくと、導入後の管理の手間まで比べられます。
| 決めること | 具体的に伝える内容 | 決まらないと起きること |
|---|---|---|
| 必要な精度と測る場所 | 温度・湿度の設定値と許容幅。吹出口か作業点か | カタログ値は満たしても作業点で外れる |
| 空調する範囲 | 装置1台・ブース・部屋のどれか。容積と発熱量 | 風量と冷却能力が決まらず、型式を選べない |
| 湿度の制御の要否 | 温度だけか、加湿・除湿まで要るか | 温度制御タイプと温湿度制御タイプで機種と配管が変わる |
| 冷却方式と設置場所 | 空冷か水冷か。冷却水・電源・給排水の有無 | 設置側の工事が見積もりから抜ける |
| 清浄度 | 必要な清浄度クラスと、HEPA/ULPAの要否 | フィルタの後付けで風量や静圧が足りなくなる |
| 周囲の環境 | 設置場所の温湿度と、1時間あたりの温度変化 | 公称精度の前提となる周囲条件を満たせない |
精度は「どこで・何を基準に測るか」まで仕様書に書くことが要点です。条件を公表している3社は、いずれも吹出口1点の精度を示しています。作業点で精度を求めるなら、その位置と測定方法を指定して、それを満たす構成で見積もりを出してもらってください。
| 質問 | 回答で見るところ |
|---|---|
| この精度は作業点で保証できますか | 吹出口1点の保証か、作業点での実測まで含むか |
| 標準品の型式で足りますか | 標準品なら納期と価格が読みやすく、個別設計なら仕様の打ち合わせが要る |
| 設置側で用意するものは何ですか | 冷却水・電源・給排水・ダクトの範囲と条件 |
| フィルタを付けたときの風量はいくらですか | HEPA/ULPAの圧力損失を見込んだ風量になっているか |
| 導入前に試せますか | アピステは無料テスト機の申し込み窓口を設けている |
精密空調機は単体で買う機器に見えますが、部屋の空調や清浄度とつながる設備です。部屋全体の温湿度を一定にする計画なら恒温恒湿室、クリーンルームの空調方式から考えるならクリーンルームの空調の仕組み、クリーンルーム本体を計画中ならクリーンルームの施工会社比較をご覧ください。
規格・制度の数値は必ず原文で確認してください
クリーンルームに関わる規格(ISO14644・JIS B 9920)や、GMP・HACCP・再生医療関連の制度は改正されます。当サイトの記載は制度の全体像と確認すべき論点を示すことを目的としており、設計・契約・規制対応の根拠にはできません。必ず規格原文および所管官庁の最新の告示・通知をご確認ください。規格の全体像はクリーンルームの規格にまとめています。
精密空調機のメーカーに関するよくある質問
精密空調機のメーカーについて、本体価格の公表状況、カタログの±0.1℃が部屋全体の精度かどうか、フィルタでクリーン度を上げられるか、空冷式と水冷式の選び方など、発注前に多い質問に本文の内容をもとに答えます。
精密空調機の価格はいくらですか?
掲載5社(朝日工業社・オリオン機械・ラスコ・伸和コントロールズ・アピステ)のうち、本体価格を公表している会社は0社です(2026年9月24日確認)。アピステは各型式ページに「価格お問い合わせ」を設け、よくある質問でも金額・納期は問い合わせで回答するとしています。冷却水配管・電源工事・断熱ダクト・フィルタボックスは本体とは別の費目になるため、分けて見積もりを取ってください。
カタログの±0.1℃は部屋全体の精度ですか?
部屋全体の精度ではありません。オリオン機械は「吸込空気温湿度安定時。吐出口 1 点、コントローラ表示値精度。絶対温度を保証するものではありません。」、アピステは本体吹出し口1点の精度保証で「ダクトなどによる熱干渉は精度保証外」、朝日工業社は「吐出口1点(1系統)での精度」と記載しています。作業点での精度が要る場合は、測る位置を指定して相談してください。
精密空調機でクリーン度も上げられますか?
フィルタを組み合わせれば可能です。アピステはHEPA(0.3µm粒子にて99.97%以上)とULPA(0.1µm粒子にて99.999%以上)のクリーン・ファンフィルターユニット、オリオン機械はHEPAフィルタ付きのFタイプ(PAP05A1-Fは内蔵、PAP20A-Fなどはフィルタボックス付)、朝日工業社はHEPA/ULPAを選べるフィルタBOXを用意しています。伸和コントロールズは「クラス100までのクリ-ン度に対応」と公表しています。
空冷式と水冷式はどちらを選べばよいですか?
設置場所の冷却水の有無と、求める清浄度で決まります。アピステは空冷式を冷却水配管が不要で設置が比較的容易、水冷式をファンモーターによる排熱がないため発塵の心配がなく、より高いクリーン度を求める環境に向くと説明しています。朝日工業社のASCと伸和コントロールズの精密空調シリーズは水冷式で、オリオン機械とアピステは両方を用意しています。
